Вакуумные печи

Вакуумные печи для синтеза порошка нитрида кремния

Эта электрическая вакуумная печь является идеальной печью для производства порошка нитрида кремния. Низкая цена, простое управление, отличный вакуумный эффект, хорошая однородность температуры.

Особенности

Предельное остаточное давление до 7* 10^(-3)па (двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос+корневой насос+диффузионный насосный агрегат)
Т макс: 1700 ℃
Пневматический вакуумный клапан, прост в эксплуатации.
Теплоизоляция из глиноземного керамического волокна и нагрев проволокой сопротивления или кремниево-молибденовым стержнем. В то же время, стоимость электрической печи значительно снижается.
Система охлаждения, чтобы температура поверхности оболочки печи 50 ℃ или меньше.
Высокопрочная углеродистая сталь, внешнее электростатическое напыление, красивое и щедрое.
50 программируемый измеритель температуры PID регулировки.
Сигнализация верхнего предела, сигнализация отклонения, автоматическая остановка в конце работы программы, без дежурного человека.
Переведено с помощью www.DeepL.com/Translator (бесплатная версия)

Производство порошка нитрида кремния

Как производить порошок нитрида кремния высокой чистоты с помощью этой печи вакуумного синтеза порошка нитрида кремния?

Процесс производства высокочистого порошка нитрида кремния:

Просеять порошок металлического кремния, удалить примеси и блоки, поместить порошок кремния на противни из нержавеющей стали, поместить в печь, установить температуру печи 70-90 градусов, сушить в течение 7-9 часов.
Загружаем высушенный металлический порошок кремния в коробку, делаем его однородным и плоским, помещаем коробку в реакционную печь для нитрида кремния, закрываем дверцу печи, вакуумируем, достигаем заданного вакуума, останавливаем вакуумный насос. Затем начать нагрев, начальная температура 950-1050 градусов, время нагрева 5-7 часов.
Внимательно следите за изменением показаний манометра. Если в течение 1 часа манометр не изменился, поднимите температуру на 10-50 градусов, а затем понаблюдайте за манометром. Если давление падает, это указывает на то, что порошок металлического кремния и азот в реакционной печи начинают реагировать. В первом температурном диапазоне 1000-1200 градусов время реакции составляет 22-26 часов.
После более чем 20 часов, давление увеличилось, что указывает на окончание первой стадии реакции, затем продолжают повышать температуру на 40-60 градусов, следующий процесс нагрева такой же, как и предыдущий, и, наконец, нагрев заканчивается при температуре 1360 градусов.
При температуре 1360 градусов и через 4-5 часов весь процесс реакции можно считать законченным, когда азот больше не поглощается. Для того чтобы обеспечить низкое содержание свободного кремния в продукте, необходимо сохранять тепло в течение 9-11 часов.
После сохранения тепла выключите питание печи и дайте ей остыть. когда температура печи опустится до 200 градусов, откройте дверцу печи, достаньте продукты, возьмите образцы для проверки.

Технические характеристики

Размеры рабочего пространства	200x200x200mm (Ш * В * Г) (8 л) Может быть изготовлен по индивидуальному заказу
Т макс	1700 C (<2 часа)
Рабочая температура	1600 C
Контроль температуры	● PID автоматическое управление через SCR (Silicon Controlled Rectifier) управление мощностью с фазовым углом срабатывания, токоограничивающий резистор.
	● 51 программируемый сегмент для точного управления скоростью нагрева, скоростью охлаждения и временем выдержки.
	● Встроенная функция автоматической настройки PID с защитой от перегрева и поломки термопары.
	● Защита от перегрева и сигнализация позволяют работать без обслуживающего персонала.
Точность контроля температуры	±1C
Однородность температуры	±5C over 120mm @ 1600C
Однородность температуры	±3C over 80mm @ 1600C
Скорость нагрева	0-20C /мин
Термопара	Тип B
ТЭНы	Дисилицид молибденовые нагреватели Mosi2
Вакуум	0.007 Pa (Молекулярный насос)
Теплоизоляция	Два слоя из керамического волокна
	● Первый слой: 1800°C керамическая волокнистая плита.
	● Второй слой: 1650°C керамическая волокнистая плита.
Структура печи	Двухслойный стальной корпус с двойным воздушным охлаждением, температура поверхности ниже 60C
Дверца	● Открытая передняя сторона
Дверца	● Отключение питания при открытой дверце печи
Рабочее напряжение	220В/380В, 50Гц/60Гц
Номинальная мощность	7КВТ
Стандартные размеры (mm)	100x100x100 120x120x130 150x150x150 150x150x200 200x200x200 200x200x300 250x250x300 300x300x300 300x300x400 350x350x500 400x400x400 450x450x450 500x500x500 600x600x600 800x800x800 900x900x900