Трубчатые печи до 1600 °C CVD

Трубчатая CVD печь1600℃ Макс.

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ТРУБЧАТЫЕ ПЕЧИ ДО 1600 °C

Рабочая температура этой трубчатой ​​печи CVD составляет от 300 ℃ до 1600 ℃, она оснащена вакуумным насосом и устройством для смешивания газов. Наши трубчатые печи CVD отличаются передовой системой контроля температуры, высокой температурной точностью, превосходной точностью расхода газа, простотой эксплуатации, отличной теплоизоляцией и однородностью температуры. В основном используется для экспериментов и производства, связанных с осаждением из паровой фазы в университетах, исследовательских центрах и производственных предприятиях.

CVD tube furnace

Трубчатая CVD печь Особенности

  • 1200 ℃ (нагреватели HRE)
  • 1400 ℃ (карбидкремниевые нагреватели)
  • 1600 ℃ (дисцилид молибденовые нагреватели)
  • Интеллектуальное 51-сегментное программируемое автоматическое управление
  • Двухслойная конструкция с воздушным охлаждением, температура поверхности кожуха печи ниже 50 ℃.
  • Фланец с двойным уплотнением из нержавеющей стали 304
  • Регулируемая опорная конструкция фланца на обоих концах для продления
  • срока службы печных труб
  • Функция защиты от перегрева, когда температура превышает допустимое установленное значение, она автоматически отключается.
  • Защитная защита Автоматическое отключение при утечке тока корпуса печи
  • Скорость нагрева  ≦20 ℃/мин
  • Точность контроля температуры  ±1 ℃
  • Предельное остаточное давление -0,08 МПа
  • Оснащен молекулярным насосом, предельное остаточное давление может достигать 7×10^(-3) Па.

Шкаф многоканальный газорегуляторный

cvd furnace gas mixing

Шкаф газораспределительный с массовым расходомером

cvd furnace gas mixing tank

cvd furnace flowmeter

 

Технические характеристики

Т Макс:1200℃ / 1400℃ / 1600℃вакуум:-0.1MPa
Предельное остаточное давлениеКонфигурация Молекулярный насос, вакуум 7×10-4 Па (опция)Уплотнение:Уплотнительный фланец из нержавеющей стали 304
Защита от прегрева:Автоматическое отключение питания при превышении допустимого заданного значения температурыЗащита безопасности:Автоматическое отключение питания при протечке корпуса печи
Структура печи:Двухслойная сталь с двойным воздушным охлаждением температура поверхности ниже 50℃Скорость нагрева:0-20°C /min
Точность контроля температуры:±1℃Однородность температуры:±5℃
Контроль температуры:51 сегмент программируемый и автоматическое управлениеПриложениеТестирование CVD

 

Модели печей и параметры 1200℃ 

МодельРазмеры рабочего пространства  печи
диаметр x зона нагрева
Мощность (квт)Т Макс Термоэ
лемент
ТрубаТЭНы
BR-12CNT-40/30040x300mm3 квт1200℃Тип KКварцевая турба  Сопротивление
BR-12CNT-60/30060x300mm3 квт
BR-12CNT-80/30080x300mm5 квт
BR-12CNT-100/300100x300mm5 квт
BR-12CNT-120/300120x300mm6 квт
BR-12CNT-40/45040x450mm3 квт
BR-12CNT-60/45060x450mm3 квт
BR-12CNT-80/45080x450mm5 квт
BR-12CNT-100/450100x450mm5 квт
BR-12CNT-120/450120x450mm6 квт

 

 

Модели печей и параметры 1400℃ 

МодельРазмеры рабочего пространства  печи
диаметр x зона нагрева
Мощность (квт)Т Макс Термоэ
лемент
ТрубаТЭНы
BR-14CST-40/30040x300mm4 квт1400℃Тип SГлиноземная трубаКарбидкре
мниевые нагреватели
BR-14CST-60/30060x300mm4 квт
BR-14CST-80/30080x300mm4 квт
BR-14CST-100/300100x300mm6 квт
BR-14CST-120/300120x300mm6 квт
BR-14CST-40/45040x450mm4 квт
BR-14CST-60/45060x450mm4 квт
BR-14CST-80/45080x450mm4 квт
BR-14CST-100/450100x450mm6 квт
BR-14CST-120/450120x450mm6 квт

 

Модели печей и параметры 1600℃ 

МодельРазмеры рабочего пространства  печи
диаметр x зона нагрева
Мощность (квт)Т Макс Термоэ
лемент
ТрубаТЭНы
BR-16CMT-40/30040x300mm4 квт1600℃Тип BГлиназемная турбаДисилицид

Молибденовые нагреватели

BR-16CMT-60/30060x300mm4 квт
BR-16CMT-80/30080x300mm4 квт
BR-16CMT-100/300100x300mm6 квт
BR-16CMT-120/300120x300mm6 квт
BR-16CMT-40/45040x450mm5 квт
BR-16CMT-60/45060x450mm5 квт
BR-16CMT-80/45080x450mm5 квт
BR-16CMT-100/450100x450mm7 квт
BR-16CMT-120/450120x450mm7 квт

 

Посмотрите другие наши печи:

Следите за нами на Facebook