Трубчатая печь Brother CVD/PECVD — это оборудование для нанесения тонких пленок на основе технологии плазменного химического осаждения из паровой фазы. Позволяет создавать покрытия на различных материалах (металлы, полупроводники, диэлектрики и др.) и применяется в микроэлектронике, оптоэлектронике, производстве дисплеев, энергонакопительных системах и других областях.

Особенности печи CVD/PECVD

• Высокая скорость осаждения пленки:

  • Использование RF-разрядной технологии увеличивает скорость осаждения до 10 Å/с.

• Равномерность покрытия:

  • Многоточечная RF-подводка, оптимизированное распределение газовых потоков и система нагрева обеспечивают равномерность пленки до 8%.

• Воспроизводимость результатов:

  • Отклонение между подложками в рамках одного процесса — менее 2% (совместимо с требованиями полупроводниковой промышленности).

• Стабильность процесса:

  • Высокая надежность конструкции гарантирует непрерывность и стабильность технологических циклов.

• Максимальная температура: 1200°C (спиральные нагреватели).

• Система управления: 50-сегментное программируемое ПИД-регулирование.

• Конструкция:

  • Двухслойный корпус с воздушным охлаждением (температура поверхности <50°C).

  • Двойной фланец из нержавеющей стали 304.

  • Регулируемые опоры фланцев для увеличения срока службы трубки.

• Защитные функции:

  • Автоотключение при перегреве или утечке тока.

• Производительность:

  • Скорость нагрева: ≤20°C/мин.

  • Точность контроля температуры: ±1°C.

• Вакуумные характеристики:

  • Максимальный вакуум: -0.1 МПа.

  • С молекулярным насосом: до 7×10⁻⁴ Па.

Стандартная комплектация

• Заглушки для трубки (2 шт.)

• Рабочая трубка (1 шт.)

• Вакуумный насос (1 комплект)

• Вакуумный фланец (1 комплект)

• Вакуумный манометр (1 шт.)

Опциональные компоненты

• Вакуумные системы (роторно-лопастные, диффузионные, молекулярные насосы).

• Системы подачи газа (ротаметры, масс-расходомеры).

• Быстроразъемные фланцы, тройниковые соединения.

• 7-дюймовый HD сенсорный экран управления.

Технические параметры печи CVD/PECVD